SemiChem 在線濃度監(jiān)測儀

Entegris在設計和生產用于半導體制造工藝中的化學機械平坦化（CMP）漿料和配方清潔化學品的高精度分析儀器的有豐富的經驗。我們的技術旨在確保復雜混合化學品的精確一致性，并在 CMP和配方清潔工藝中實現(xiàn)高產量。

我們的 SemiChem Advanced Process Monitor （SemiChem 在線濃度監(jiān)測儀）是集自動取樣、分析和報告關鍵過程的定量化學濃度的化學監(jiān)測系統(tǒng)。全面的在線化學監(jiān)測可實時校正漿料成分，從而穩(wěn)定控制工藝生產條件。該系統(tǒng)可提供分類化學濃度數(shù)據(jù)。當立即顯現(xiàn)時，可以快速糾正可能對產品質量產生負面影響的變化，有助于滿足更高產品產量的要求。

應用領域

在全球范圍內，我們安裝了近3000套SemiChem APM系統(tǒng)，用于控制金屬 CMP 濃度。它是控制CMP過氧化物的可靠的中心工具，并被證明在微電子環(huán)境中的所有濕化學應用中都具有較好的性能，包括：

·銅，鎢，阻擋層和金屬CMP

·制定清潔

·DSP+

·濕法蝕刻，氮化物蝕刻

·平底蝕刻，食人魚蝕刻

·高頻

·廢水

功能與特點